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SY-DT03 低温等离子体处理仪

1)技术参数:

整机规格 700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H)
腔体规格 Φ230mm×210mm
腔体容积 8.5L
电极规格 外置环形电极
载物规格 单层,180mm×185mm(平放、悬挂均可)
电源系统 RF射频等离子发生源,全自动阻抗匹配;13.56MHz
控制系统 触摸屏+PLC自动控制
真空系统 抽速:6L/S
气路系统 2路工作气体、1路放空、1路接枝
工作电压 AC220V

2)产品特点:
 RF射频晶体管等离子发生源,全自动阻抗匹配。
 柜式结构,真空泵内置,有效节约占地面积。 
 万向底轮设计,方便设备移动。
 高强度石英石玻璃腔体,易清洁、耐腐蚀。  
 置物方式多样化,可平放、可悬挂。 
 外置环形电极,有效避免对腔体内的污染。 
 真彩色全中文界面触摸屏,画面清晰,操作方便。 
 PLC自动控制,功能齐全,所有运行参数可自行设置并监控,主要功能包括:手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能(如:相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等)、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。 

3)应用范围:
适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
总部:
业务负责人:沈经理
电话:0512-88876979、139-1573-6529 或 186-2629-9807
传真:0512-88876980
E-mail:swk@opsplasma.com
Q Q:3177076451、1148838914
地址:江苏省苏州市高新区泰山路2号和枫产业园中试基地C区102
华北地区:
业务负责人:刘平勇
电话:13910299247
传真:0512-88876980
E-mail:sales@toption.net.cn
地址:北京市大兴区珺悦国际17号楼2005室