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SY-DT02 低温等离子体处理仪
1
)技术参数:
整机规格
700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H)
腔体规格
Φ230mm×210mm
腔体容积
8.5L
电极规格
外置环形电极
载物规格
单层,180mm×185mm(平放、悬挂均可)
电源系统
固态晶体管等离子发生源,40KHz
控制系统
触摸屏+PLC自动控制
真空系统
抽速:6L/S
气路系统
2路工作气体、1路放空、1路接枝
工作电压
AC220V
2)产品特点:
柜式结构,真空泵内置,有效节约占地面积。
万向底轮设计,方便设备移动。
高强度石英石玻璃腔体,易清洁、耐腐蚀。
置物方式多样化,可平放、可悬挂。
外置环形电极,有效避免对腔体内的污染。
真彩色全中文界面触摸屏,画面清晰,操作方便。
PLC自动控制,功能齐全,所有运行参数可自行设置并监控,主要功能包括:手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能(如:相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等)、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。
3)应用范围:
适用于实验各种材料的表面改性处理,包括:清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
友情链接:
拓普升科技