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SY-DT07低温等离子体处理仪

1)技术参数:

设备尺寸 530mm×538mm×674mm
重量 75Kg
电力需求 220v
腔体尺寸 210mm×210mm×220mm铝合金
载物层数及面积 2层150×174×60(W×D×H)
真空泵形式 机械泵
处理时间 0-15分钟
可使用气体 ArN2O2H2CO2、空气等
控制系统 PLC+触摸屏
流量控制 一路质量流量计

2)产品特点
 高可靠性、高重复性。
 宽泛的参数调节范围,可使用多种气体,实现最大范围的参数选择。
 手自一体控制模式,方便操作。
 PLC控制功率、质量流量控制等实现参数的精确控制和记录。
 适合各种材质,例如高分子材料、陶瓷、金属等的表面处理。
 设备体积小,适合空间紧张的实验室使用。
3)应用范围:
小型化等离子设备适合实验室使用,进行单次小批量作业。
 LCD 面板电极表面有机污染物的清洗
 BGA 电路板电极表面有机污染物的清洁
 LED 的清洗与活化
 PCB 表面清洗
 橡塑材料的清洗与活化
 玻璃与陶瓷表面的清洗与活化
 生物材料表面接枝与活化
 医疗器械消毒杀菌
 人造生物器官的表面改性