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PT-DJ01 汽化接枝仪

1)技术参数:

整机规格 400mm(W)×400mm(D)×200mm(H)
液体原料罐 Φ60×80mm
温控范围 0-80°C(加热);0-80°C(保温);
流量控制 转子流量计,0-6L/min
管路系统 1路进气,1路清洗
工作电压 AC220V

2)产品特点:
 液体原料罐为可拆结构,便于清洗和更换不同的液体原料。 
 保温装置可保证汽化后的气体不会冷凝,保持通气顺畅。
 装置设备及管路清洗方便,具有自动清洗功能,可自动清洗管道中各种原料残留。
3)应用范围:
主要用于将液态原料汽化并以一定的流量输入等离子体表面处理仪的反应腔内,以进行材料表面的接枝和沉积,适用于各式等离子处理设备。