1)技术参数:
整机规格 | 2100mm(W)×1345mm(D)×2200 mm(H) |
腔体规格 | 共2个,单个:660mm(W)×850mm(D)×1520mm(H) |
腔体容积 | 855L×2 |
电极规格 | 内置管状电极 |
载物规格 | 14层×2 |
真空系统 | 泵组(真空泵+罗茨泵),抽速:600m3/h |
电源系统 | 固态晶体管等离子发生源 |
控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
气路系统 | 2路进气、1路放空(可根据客户需求增加气路) |
水冷系统 | 水冷机+冷却管路 |
工作电压 | AC380V |
备 注 | 可针对不同物料形式、尺寸及产能等实际需求而定制专业设备 |